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・窒化ケイ素
・窒化アルミニウム
特長
・熱伝導・熱反射率が大きく、均熱性が高い。
・熱衝撃に強く、急熱、急冷に耐える。
・Siにマッチした低熱膨張で、温度変化によるウェーハの変形を防ぎ、またデポ膜の剥離によるパーティクル発生を低減する。
・フッ素系ガス耐食性に優れる。
用途
・半導体製造装置（CDV、エッチングなど）
サセプター各種、静電チェック、ヒーター均熱板
真空チェック、ヒーター
・ダミーウェーハ
・ターゲット
・化合物半導体製造装置用部品
・Sic
等
半導体製造装置用部品の加工を承っております。
アルミナ製 ベルジャー
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ファインセラミックスには、アルミナやジルコニア、炭化ケイ素、窒化アルミニウムなど、いろいろな種類があります。製造技術が進化し、使用する原料の種類や粒子の細かさ、焼き方などを変えることで、それぞれ違った特性を持たせることができます。
用途や目的によって、製品づくりに適したファインセラミックスの材料選び、形を決め、焼結させて、製品を作り上げることができるのです。
チタン酸バリウム セラミックスの中でも高い誘電率を持ち、電気をたべる性質に優れているため、主にコンデンサ部品材料に使われます。添加元素により誘電率が大きく変化します。 |
天然には存在しない人工化合物で、珪砂と炭素から合成されます。高温（1500℃）まで強度が持続するほか、軽量で耐食性の高い、最も優れた耐熱材料です。 |
フォルステライト ２MgO・Sio2 マイクロ波損失が小さく、高温の絶縁性にも優れます。表面が平滑であり、電子管部品、回路部品基板などに用いられます。熱膨張係数が大きく、金属やガラスと接合させやすいことも特徴です。 |
ジルコニア ファインセラミックスの中で、最も高い強度と靱性をもったセラミックスです。従来は不可能とされていた刃物（ハサミや包丁など）にも利用されています。単結晶は屈折率が大きくダイヤモンドのような輝きが得られ宝飾品にも利用されています。 ジルコン 熱膨張係数が小さく、耐熱衝撃性に優れるため、耐熱部品、巻線抵抗ボビン、電子管部品などに用いられています。 ムライト 耐熱性および耐熱衝撃性に優れ、特にクリープ特性が良好な、優れた耐熱材料ですが、熱膨張係数が半導体Siチップに近いことも特徴です。 ステアタイト 電気的、機械的特性は普通磁器より優れており、機械加工性も良好です。 コーティエライト 特に低熱膨張であるので耐熱衝撃性に優れます。多孔質材料としてハニカム担体など、また、電熱器耐火物、化学工業用装置材料などに用いられます。 窒化アルミニウム 熱伝導率が高いので、放熱性が求められる半導体部品のパッケージ材料などに用いられています。 窒化ケイ素 高温における強靭性、耐熱衝撃性に最も優れ、軽量で耐食性も高いため、エンジン部材として最適の材料です。 |
ご希望の石英ガラスをご用意することが可能です。 メールのお問い合わせはこちら TEL：03-3943-6571 |